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一、产品简介

 

          热解氮化硼(PBN)属于六方晶系,为先进陶瓷材料,纯度可以达到99.999%,耐酸碱,抗氧化,导热性好,致密,可加工。它在高温、高真空条件下,由氨和硼的卤化物进行化学气相沉积(CVD)而成,既可以制备PBN板材,也可以直接制备坩埚,舟,涂层等PBN最终产品。

 

二、主要特点

 

      它与普通的热压氮化硼(BN)不同,不必经过传统的热压烧结过程,不添加任何烧结剂,因此获得的产品具有如下显著特点:

(1) 无毒、无味;

(2) 纯度高,达到99.999%以上;

(3) 室温下与酸、碱、盐及有机试剂不反应,在熔融的盐、碱液中略腐蚀,但能抗高温下各种酸的腐蚀;

(4) 与大多数熔融金属、半导体及其化合物不反应;

(5) 在1000℃以下,抗氧化性能良好;

(6) 抗热震性能良好,2000℃投入水中未见裂纹;

(7) 使用温度高,无升华点,在3000℃以上直接分解为B和N;

(8) 电阻高,电绝缘性能好;

(9) 表面光滑,无气孔,与大多数半导体熔体不湿润。

 

三、产品应用

(1) OLED 蒸发单元

(2) 半导体单晶生长(VGF、LEC)坩埚

(3) 分子束外延(MBE)蒸发坩埚

(4) MOCVD 加热器

(5) 多晶合成舟

(6) PBN红外窗口

(7) 卫星通讯微波管

(8) PBN涂层载盘

(9) 高温、高真空设备绝缘板

四、主要性能参数

主要参数 单位 数值
密度 g/cm3 1.95-2.20
抗张强度 MPa 112
抗弯强度 MPa 298
耐压强度 MPa 154
杨式模量 GPa 18
热导率 W/m°C "a" 60 - 153 "c" 2-3
比热容 J/g·℃ 0.90(RT)
电阻率 Ω.cm 2×1015
介电强度 D.C. volts/mm 2x105
介电常数   "c"3.07