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碳化硅(CVD-SiC)片
CVD-SiC 一般以石墨为衬底,沉积到一定厚度,移除基底,得到高纯度 CVD-SiC 板材,因其高热导率、低热膨胀系数、化学稳定性和光学性能,使其成为支撑极紫外光刻、太空探索、先进半导体制造等顶级科技领域不可或缺的“基石“材料。
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