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碳化硅晶舟
晶舟(英文名 BOAT 或 Wafer Boat)是半导体集成电路制造过程中的专用工具,其名称源于其功能类似“舟船”,负责在复杂的生产流程中承载和传送晶圆(芯片)。核心功能包括:
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